Механизм формирования межслоевой области в многослойной структуре Mo/(B4C)/Be

Research outputpeer-review

Abstract

Установлено формирование бериллидов с разной стехиометрией, зависящей от порядка напыления слоев (Mo-на-Be или Beна-Mo) в многослойной структуре Mo/Be. Показано, что по мере увеличения числа слоев (начиная с подложки) качество межфазовой границы Mo-на-Be остается неизменным, в то время как интерслой, образованный на границе Be-на-Mo, претерпевает существенное изменение. Предложен механизм формирования межфазовой границы: обсуждается механизм диффузии атомов бериллия на границах Mo-на-Be и Be-на-Mo (поверхностная и объемная диффузии). Рассмотрена возможность управления протяженностью и составом межслоевой области путем введения тонкого слоя B4C на межфазовой границе.
Original languageRussian
Title of host publicationНанофизика и наноэлектроника
Subtitle of host publicationТруды XXIV Международного симпозиума. В 2 т.
Place of PublicationНижний Новгород
PublisherИздательство Нижегородского государственного университета им. Н.И. Лобачевского
Pages907-908
Number of pages2
Volume2
ISBN (Print)978-5-91326-587-6
Publication statusPublished - 2020
EventXXIV Международный симпозиум «Нанофизика и наноэлектроника» - Нижний Новгород
Duration: 10 Mar 202013 Mar 2020

Conference

ConferenceXXIV Международный симпозиум «Нанофизика и наноэлектроника»
CountryRussian Federation
CityНижний Новгород
Period10/03/2013/03/20

Cite this