Abstract
Установлено формирование бериллидов с разной стехиометрией, зависящей от порядка напыления слоев (Mo-на-Be или Beна-Mo) в многослойной структуре Mo/Be. Показано, что по мере увеличения числа слоев (начиная с подложки) качество межфазовой границы Mo-на-Be остается неизменным, в то время как интерслой, образованный на границе Be-на-Mo, претерпевает существенное изменение. Предложен механизм формирования межфазовой границы: обсуждается механизм диффузии атомов бериллия на границах Mo-на-Be и Be-на-Mo (поверхностная и объемная диффузии). Рассмотрена возможность управления протяженностью и составом межслоевой области путем введения тонкого слоя B4C на межфазовой границе.
| Original language | Russian |
|---|---|
| Title of host publication | Нанофизика и наноэлектроника |
| Subtitle of host publication | Труды XXIV Международного симпозиума. В 2 т. |
| Place of Publication | Нижний Новгород |
| Publisher | Издательство Нижегородского государственного университета им. Н.И. Лобачевского |
| Pages | 907-908 |
| Number of pages | 2 |
| Volume | 2 |
| ISBN (Print) | 978-5-91326-587-6 |
| Publication status | Published - 2020 |
| Event | XXIV Международный симпозиум «Нанофизика и наноэлектроника» - Нижний Новгород Duration: 10 Mar 2020 → 13 Mar 2020 |
Conference
| Conference | XXIV Международный симпозиум «Нанофизика и наноэлектроника» |
|---|---|
| Country | Russian Federation |
| City | Нижний Новгород |
| Period | 10/03/20 → 13/03/20 |