Индуцированные наноструктурированием эффекты в металлических материалах, используемых в микроэлектронике: 2020 г. этап 2
- Charnaya, Elena (PI)
- Antonenko, Anastasiia (CoI)
- Нефедов, Денис Юрьевич (CoI)
- Podorozhkin, Dmitrii (CoI)
- Uskov, Andrei (CoI)
- Шевченко, Евгений Викторович (CoI)
- Pirozerskii, Aleksei (PI)
Project